O nas    Informacje  Uczestnicy  Dzialalnośc  Wydarzenia Aktualności
 Politechnika Rzeszowska
 IMP PAN
 IPPT PAN
 ITWL
 Politechnika Częstochowska
 Politechnika Lubelska
 Politechnika Łódzka
 Instytut Lotnictwa
 Politechnika śląska
 Politechnika Warszawska
 Uniwersytet Rzeszowski
 SGPPL Dolina Lotnicza
 Akademia Górniczo-Hutnicza
 


Uniwersytet Rzeszowski

Partner



Rektor Uniwersytetu Rzeszowskiego
prof. dr hab. Sylwester CZOPEK

Biuro Rektora
35-959 Rzeszów, al. T. Rejtana 16c
tel.: +48 17 872 10 10
faks: +48 17 872 12 65
e-mail: rektorur@univ.rzeszow.pl




      Na Uniwersytecie Rzeszowskim funkcjonuje Centrum Naukowo-Dydaktyczne Mikroelektroniki i Nanotechnologii, które powstało w wyniku realizacji Projektu w ramach Programu Operacyjnego Infrastruktura i Środowisko, oś priorytetowa XIII, działalność 13.1 Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego.
      Kompleks Naukowo-Dydaktyczny Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytetu Rzeszowskiego uzupełnia istniejącą lukę infrastrukturalną w regionie podkarpackim, dotyczącą najnowszych technologii i metod badań. Powstały obiekt będzie służył jako baza naukowo-dydaktyczna dla nowych specjalności:

  • nanoelektronika na kierunku fizyka techniczna
  • nanotechnologia i nowe materiały dla lotnictwa na kierunku inżynieria materiałowa
  • bioinżynieria medyczna, bioinformatyka, biotechnologia analityczna oraz biomateriały na międzywydziałowym kierunku biotechnologia
Ponadto planuje się utworzenie studiów II stopnia na kierunku inżynieria materiałowa o specjalnościach:
  • technologie materiałowe
  • materiały nanokompozytowe i funkcjonalne
  • nanoelektronika
Do podstawowych zadań Centrum należy także:
  • Prowadzenie badań naukowych w zakresie nanostruktur i materiałów nanokom- pozytowych (materiały te zajmują coraz ważniejsze miejsce w budowie maszyn).

  • Opracowanie technologii wytwarzania materiałów nanokompozytowych dla przemysłu lotniczego i wdrożenie ich w produkcję w przedsiębiorstwach Doliny Lotniczej.

Jednostki Centrum Naukowo-Dydaktycznego Mikroelektroniki i Nanotechnologii:

  1. Laboratorium Technologiczne MBE i Kontroli Jakości Nanostruktur - będzie zawierać dwa reaktory MBE: jeden dla związków II-VI, zaś drugi dla związków III-V. Reaktory zostaną połączone transferem wysokopróżniowym. Pierwszy reaktor pozwoli na otrzymanie warstw MCT oraz MZC, w tym nanostruktur na ich bazie. Drugi da możliwość wyhodowania nanostruktur InGaAs oraz InAlAs. Wzrost warstw będzie kontrolowany on-line metodą RHEED.

  2. Laboratorium Technologiczne Fotolitografii i Litografii Elektronowej - umieszczone jest w pokojach czystych 1 i zostało podzielone na dwa stanowiska. Pierwsze stanowisko do nanolitografii wykorzystuje elektronowy mikroskop skaningowy, który jest wyposażony w dodatkowe źródło jonowe (mikroskop w konfiguracji dual beam) oraz dedykowany układ sterujący firmy Raith. Tak skonfigurowany system umożliwia wytwarzanie nano-wzorów dwoma metodami:

    • metodą litografii elektronowej wraz z procesem chemicznego trawienia - tzw. trawienie mokre
    • metodą litografii jonowej - tzw. trawienie suche

          System nanolitografii elektronowo-jonowej powinien umożliwić wykonanie wzorów z rozdzielczością co najmniej 20 nm.

          Drugim systemem dedykowanym litografii jest stanowisko klasycznej fotolitografii wykorzystujące światło ultrafioletowe. W skład systemu wchodzą: wirówka do nanoszenia fotorezystów (emulsji światłoczułych) - spin coater, płyta grzewcza do utrwalania fotorezystu (hot plate), urządzenie do wyrównywania i naświetlania próbek (tzw. mask aligner) oraz układ wywoływania po procesie naświetlania.

  3. Laboratorium Naukowe Magnetotransportu w Nanostrukturach - wyposażone będzie w system magnesu nadprzewodzącego generującego pole magnetyczne do 12 tesli. Dzięki wykorzystaniu w nim 3He będą możliwe pomiary w zakresie temperatur 0,3 K - 300 K. W laboratorium będą prowadzone badania transportu elektronowego w strukturach półprzewodnikowych o obniżonej wymiarowości (2D, 1D, 0D) wytworzonych w Laboratorium Epitaksji z wiązek molekularnych. W szczególności będą wykonywane pomiary:

    • kwantowego całkowitego efektu Halla (IQHE)
    • oscylacji Szubnikowa de Hassa (SdH)
    • rezonansu magnetofononowego (MPR) próbek o nietypowej architekturze przygotowanych w Laboratorium Litografii.

          Uzyskane wyniki pomiarów posłużą do przygotowania materiałów do kwantowej elektroniki dla przemysłu. Wysokiej klasy sprzęt pomiarowy umożliwi równoczesne pomiary czterech próbek metodą stało- lub zmiennoprądową, zaś mierzone sygnały na poziomie mikro i nanowoltów będą zbierane i archiwizowane. Całość systemu sterowana będzie dzięki oprogramowaniu napisanym w środowisku LabVIEW.

  4. Laboratorium Naukowe Luminescencji Niskotemperaturowej wyposażone będzie w wysokiej jakości sprzęt optyczny do pomiaru mikroluminescencji w otrzymanych nanostrukturach przy niskich temperaturach.

  5. Pracownie studenckie, gdzie studenci będą przygotowywani do prowadzenia pomiarów nanostruktur w temperaturach 4 K (-269oC) i niższych:

    • Pracownia Studencka Technologii Komputerowych Systemów Pomiarowych
    • Pracownia Studencka Zjawisk Transportowych w Strukturach Półprzewodnikowych
    • Pracownia Studencka Zjawisk Optycznych w Strukturach Półprzewodnikowych
Kontakt:
ul. S. Pigonia 1
35-959 Rzeszów
tel.: +48 17 872 11 06
tel./faks: +48 17 872 12 83
e-mail: nano@univ.rzeszow.pl


_____________________________________________________________________________

1 W ramach Projektu zostały stworzone pokoje czyste (clean room - "czysty pokój"). Są to pomieszczenia o kontrolowanych parametrach środowiskowych, w szczególności zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne. Pracownicy wchodzący i opuszczający pomieszczenie o wysokim stopniu czystości muszą zrobić to przez śluzę powietrzną wyposażoną w prysznic powietrzny.