Uniwersytet Rzeszowski
Partner
Rektor Uniwersytetu Rzeszowskiego
prof. dr hab. Sylwester Czopek
Biuro Rektora
35-959 Rzeszów, al. T. Rejtana 16c
tel.: +48 17 872 10 10
faks: +48 17 872 12 65
e-mail: rektorur@univ.rzeszow.pl
Na Uniwersytecie Rzeszowskim funkcjonuje Centrum Naukowo-Dydaktyczne Mikroelektroniki i Nanotechnologii, które powstało w wyniku realizacji Projektu w ramach Programu Operacyjnego Infrastruktura i Środowisko, oś priorytetowa XIII, działalność 13.1 Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego.
Kompleks Naukowo-Dydaktyczny Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytetu Rzeszowskiego uzupełnia istniejącą lukę infrastrukturalną w regionie podkarpackim, dotyczącą najnowszych technologii i metod badań. Powstały obiekt będzie służył jako baza naukowo-dydaktyczna dla nowych specjalności:
- nanoelektronika na kierunku fizyka techniczna
- nanotechnologia i nowe materiały dla lotnictwa na kierunku inżynieria materiałowa
- bioinżynieria medyczna, bioinformatyka, biotechnologia analityczna oraz biomateriały na międzywydziałowym kierunku biotechnologia
Ponadto planuje się utworzenie studiów II stopnia na kierunku inżynieria materiałowa o specjalnościach:
- technologie materiałowe
- materiały nanokompozytowe i funkcjonalne
- nanoelektronika
Do podstawowych zadań Centrum należy także:
Prowadzenie badań naukowych w zakresie nanostruktur i materiałów nanokom- pozytowych (materiały te zajmują coraz ważniejsze miejsce w budowie maszyn).
Opracowanie technologii wytwarzania materiałów nanokompozytowych dla przemysłu lotniczego i wdrożenie ich w produkcję w przedsiębiorstwach Doliny Lotniczej.
Jednostki Centrum Naukowo-Dydaktycznego Mikroelektroniki i Nanotechnologii:
-
Laboratorium Technologiczne MBE i Kontroli Jakości Nanostruktur - będzie zawierać dwa reaktory MBE: jeden dla związków II-VI, zaś drugi dla związków III-V. Reaktory zostaną połączone transferem wysokopróżniowym. Pierwszy reaktor pozwoli na otrzymanie warstw MCT oraz MZC, w tym nanostruktur na ich bazie. Drugi da możliwość wyhodowania nanostruktur InGaAs oraz InAlAs. Wzrost warstw będzie kontrolowany on-line metodą RHEED.
-
Laboratorium Technologiczne Fotolitografii i Litografii Elektronowej - umieszczone jest w pokojach czystych 1 i zostało podzielone na dwa stanowiska. Pierwsze stanowisko do nanolitografii wykorzystuje elektronowy mikroskop skaningowy, który jest wyposażony
w dodatkowe źródło jonowe (mikroskop w konfiguracji dual beam) oraz dedykowany układ sterujący firmy Raith. Tak skonfigurowany system umożliwia wytwarzanie nano-wzorów dwoma metodami:
- metodą litografii elektronowej wraz z procesem chemicznego trawienia - tzw. trawienie mokre
- metodą litografii jonowej - tzw. trawienie suche
System nanolitografii elektronowo-jonowej powinien umożliwić wykonanie wzorów
z rozdzielczością co najmniej 20 nm.
Drugim systemem dedykowanym litografii jest stanowisko klasycznej fotolitografii wykorzystujące światło ultrafioletowe. W skład systemu wchodzą: wirówka do nanoszenia fotorezystów (emulsji światłoczułych) - spin coater, płyta grzewcza do utrwalania fotorezystu (hot plate), urządzenie do wyrównywania i naświetlania próbek (tzw. mask aligner) oraz układ wywoływania po procesie naświetlania.
-
Laboratorium Naukowe Magnetotransportu w Nanostrukturach - wyposażone będzie w system magnesu nadprzewodzącego generującego pole magnetyczne do 12 tesli. Dzięki wykorzystaniu w nim 3He będą możliwe pomiary w zakresie temperatur 0,3 K - 300 K.
W laboratorium będą prowadzone badania transportu elektronowego w strukturach półprzewodnikowych o obniżonej wymiarowości (2D, 1D, 0D) wytworzonych w Laboratorium Epitaksji z wiązek molekularnych. W szczególności będą wykonywane pomiary:
- kwantowego całkowitego efektu Halla (IQHE)
- oscylacji Szubnikowa de Hassa (SdH)
- rezonansu magnetofononowego (MPR) próbek o nietypowej architekturze przygotowanych w Laboratorium Litografii.
Uzyskane wyniki pomiarów posłużą do przygotowania materiałów do kwantowej elektroniki dla przemysłu. Wysokiej klasy sprzęt pomiarowy umożliwi równoczesne pomiary czterech próbek metodą stało- lub zmiennoprądową, zaś mierzone sygnały na poziomie mikro
i nanowoltów będą zbierane i archiwizowane. Całość systemu sterowana będzie dzięki oprogramowaniu napisanym w środowisku LabVIEW.
-
Laboratorium Naukowe Luminescencji Niskotemperaturowej wyposażone będzie w wysokiej jakości sprzęt optyczny do pomiaru mikroluminescencji w otrzymanych nanostrukturach przy niskich temperaturach.
-
Pracownie studenckie, gdzie studenci będą przygotowywani do prowadzenia pomiarów nanostruktur w temperaturach 4 K (-269oC) i niższych:
- Pracownia Studencka Technologii Komputerowych Systemów Pomiarowych
- Pracownia Studencka Zjawisk Transportowych w Strukturach Półprzewodnikowych
- Pracownia Studencka Zjawisk Optycznych w Strukturach Półprzewodnikowych
Kontakt:
ul. S. Pigonia 1
35-959 Rzeszów
tel.: +48 17 872 11 06
tel./faks: +48 17 872 12 83
e-mail: nano@univ.rzeszow.pl
_____________________________________________________________________________
1 W ramach Projektu zostały stworzone pokoje czyste (clean room - "czysty pokój"). Są to pomieszczenia o kontrolowanych parametrach środowiskowych, w szczególności zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne. Pracownicy wchodzący
i opuszczający pomieszczenie o wysokim stopniu czystości muszą zrobić to przez śluzę powietrzną wyposażoną w prysznic powietrzny.